IXION-193是一款单频全固态激光器。应用于光学度量,193nm的校准光源,高功率ArF准分子激光器的带宽控制。该激光器的光谱带宽接近理论傅里叶极限。
激光器的中心波长可以在190-194nm之间选择,选择精度高达0.01nm。
选项:内部集成一个高精度光谱仪,绝对光谱精度高达0.001nm。可实现激光器最大程度的可控性。
应用领域:
· 193nm光学度量
· 光谱仪校准
· 干涉度量分析
· 准分子激光器的种子源
产品特点:
· 工业化应用
· 二极管泵浦
· 密封外壳
· 槽安装激光二极管
· 光学参数优良
· 功率稳定度高
· 免维护,热电控制
· 19寸电源和冷却
· LabVIEW驱动
· 集成光谱仪,实现波长的在线控制(选项)
产品参数:
型号
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IXION-193 SLM
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波长
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193.368nm
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平均功率
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>10mW
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脉宽
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<10ns
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单脉冲能量
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1.6μJ
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重复频率
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6kHz
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M2
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<1.6
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光谱线宽
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<120MHz = 0.015pm = 0.004cm-1
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光谱控制
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>80GHz = 10pm = 2.6 cm-1
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相干长度
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>1m
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系统尺寸(L×W×H),重量:
激光头
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795×710×154mm3
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74kg
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电源(冷却装置)
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600×600×600mm3
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45kg
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电源参数: