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一、主要特性：光束质量:M²<1.5脉冲能量达200μJ脉宽可小于10ps峰值功率达20MW重复频率可达15MHz平均功率达100W波长1064、532、355、266nm二、产品应用：光伏产业，如:硅晶圆的划片、打孔和切割；薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀印刷工业，如:印刷轮雕版显示领域，如:构造导电层，横向连续硅结晶电子行业，如:印刷电路板的钻孔和切割工
一、主要特性：
光束质量: M²<1.5
脉冲能量达200μJ
脉宽可小于10ps
峰值功率达20MW
重复频率可达15MHz
平均功率达100W
波长1064、532、355、266nm
二、产品应用：
光伏产业，如:硅晶圆的划片、打孔和切割；薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
印刷工业，如:印刷轮雕版
显示领域，如:构造导电层，横向连续硅结晶
电子行业，如:印刷电路板的钻孔和切割
工具制造和机械工程，如:三维快速成型
三、参数规格：
|
波长[nm] |
1064 |
532 |
355 |
266 |
|
高光束质量 M2 |
1.1 |
1.1 |
1.5 |
2 |
|
平均功率[W] |
100 |
60 |
30 |
10 |
|
重复频率[MHz] |
15 |
15 |
15 |
15 |
|
单脉冲能量[μJ] |
200 |
120 |
70 |
30 |
|
脉宽[ps] |
8 |
8 |
8 |
8 |
|
能量稳定性[%]rms |
1 |
2 |
3 |
4 |
|
定时稳定性[ns] |
60 |
60 |
60 |
60 |
|
偏振比 |
>100:1 |
>100:1 |
>100:1 |
>100:1 |
|
出口光斑直径[mm] |
3 |
3 |
3 |
3 |
|
满量程发散角[μrad] |
500 |
250 |
226 |
226 |
|
电源 |
90V-264V,50/60Hz 1KW |
|||
|
水冷机 |
230,208,115,100V,50/60Hz 0.8KW |
|||
|
工作温度 |
15-30℃ |
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|
激光头 |
650mm*268mm*139mm 36kg |
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电源及水冷机组 |
19"*10HU*650mm 62kg |
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