产品介绍:
波威官方代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速扫频可调谐激光探测硅片厚度的硅片厚度测试仪。 基于高速波长扫描的激光器可以实现每波长更高功率的测量,从而实现高动态范围,甚至在未抛光的晶片上也可以进行厚度测量,例如在湿法蚀刻期间/之后。硅晶片厚度传感器由精确调谐的波长扫描激光源,聚焦传感器和光接收器(PD)构成。 波长扫描光聚焦在目标上,并且在通过传感器之后由PD检测由目标表面和背面的反射形成的干涉图案。
产品特点:
l 用于硅晶圆的全光学,非接触式厚度传感器
l 高动态范围,能够测量无序表面
l 能够在湿法蚀刻期间进行原位测量
产品应用:
l 硅片厚度测量
产品参数:
主要技术指标 | 硅片厚度测试传感器(SIT-200) |
SIT-200 |
测试功能 | - | 硅片厚度 |
厚度测试范围 | um | 10~500(n=3.5) |
激光器 | nm | 波长扫描激光器,1515nm-1585nm |
光输出功率 | mW | 0.6(Class 1) |
引导光源(基准光源) | - | RED LD,Laser class 1M |
测试时间 | ms | ≥20 |
重复率 | um | <0.1(3σ) |
监控输出 | - | 干扰信号(电信号) |
程控接口 | - | Ethernet(网口) |
电源 | - | AC100-240V(50/60Hz) |
尺寸(WxHxD) | mm | 364x147x391 |
重量 | Kg | 9.0 |
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