硅晶圆膜厚测量仪 SIT-200
产品介绍:SIT-200 硅晶圆检测仪是Alnair Labs 公司采用高速扫频激光器,利用干涉计量的方法设计制造的用于硅晶圆厚度检测的干涉仪。与常规测厚采用宽带光源不同,可调谐激光器具备很高的功率谱密度,从而提高了测量的动态范围,因此,SIT-200 支持非抛光的晶圆测量,例如在湿刻过程中以及湿刻之后的晶圆。产品特点:l 全光学,非接触式晶圆厚度传感l 高动态范围,可测量不规则表面l 支持
- 产品名称: 硅晶圆检测仪SIT-200
- 合作厂商: Alnair
- 产品型号: SIT-200