FemtoFAB是一款工业用飞秒激光微加工设备。配置选定后,根据客户特定激光加工应用调试,包括对任何材料激光切割,激光划片,激光钻孔,3D激光铣削(使用的激光峰值功率>2.4GW)。系统使用Class 1激光安全防护罩,通过单个SCA工程软件窗口控制。
FemtoFAB提供激光同步移动控制和/或集成扫描振镜系统控制,对不同工业微加工应用,提供最佳的速度和精度参数。产品在立陶宛设计和装配。
产品特点:
· 高加工速度,最高350000px/s
· 加工不同物体亚微米分辨率
· 飞秒加工模式具有最小热影响区
· 直驱亚微米精度位移台
· 使用高性能扫描振镜精细激光束控制
· 点数控制(单点到350KHz)
· 激光脉冲和移动物体在空间和时间上同步
· 原版软件界面控制所有集成的硬件设备
产品应用:
· 微光学
· 光伏产业
· 多光子聚合
· 生物医学技术传感器
· 其他精细微加工任务
性能参数:
样品特性
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材料
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固体材料,液态聚合物
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尺寸(mm)
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150×150×150
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光束成型和控制
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脉冲选择
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集成、自动控制
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扫描振镜
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10m/s扫描速度,5×5
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聚焦
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高NA非球面镜或物镜,焦长1.45-18.4mm
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SLM(选配)
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1920×1080,15.36mm×8.64mm,16bit,反射式
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位置
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类型
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XYZ,线性电机,交叉定位,空气轴承(选配)
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加工速度
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350mm/s
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工作区域(mm)
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160×160
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分辨率(nm)
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1
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位置精度(nm)
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±300
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重复性(nm)
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±50
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稳定度(nm)
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3
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样品支架
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真空夹头
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激光参数
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激光介质
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Yb:KGW
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波长
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1028±5nm
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功率(W)
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4(6,8,10选配)
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振荡器输出功率(W)
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0.7-1.5
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脉冲能量(mJ)
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1
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重频(KHz)
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200(600,1000选配)
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脉宽
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<200fs-10ps(可调);<80fs(振荡器)
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光束质量
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M2<1.2
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输出脉冲稳定性
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<1%RMS
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谐波产生器
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谐波
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SH(515nm),TH(343nm)选配,FH(258nm)选配
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转换效率(@200KHz)
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>50%(SH),>30%(TH)选配,>10%(FH)选配
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软件控制
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功率控制
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激光输出,电动衰减器
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位移台控制
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2.5D微加工,3D XYZ指令
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控制界面
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算法窗口,虚拟或GUI操纵杆
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图形或矢量格式
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.bmp,.plt
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高速度
高可靠度工业级飞秒激光系统拥有76MHz振荡输出和达到1MHz放大输出的脉冲重频,并且和Aerotech线性定位平台以及扫描振镜协调同步,在高速无熔微加工中能够表现出明显的优势。
纳米级分辨率
高分辨率目标定位系统(Aerotech XYZ线性平台)与激光光束位置控制器(扫描振镜)以及激光脉冲选择器协调同步控制空间,时间和能量区域,使系统可以亚微米分辨率下加工难处理物体。
Machine vision机器视觉
机器视觉系统由和Aerotech线性定位平台同步,并为整个系统提供视觉的高分辨率CCD相机组成,能够使系统获取物体的位置,形状或任一特征并对激光光束进行相应地调整。
SCA工程自动化软件
系统控制应用程序(SCA)是WOP为便于控制激光微加工过程而研发的原创软件。
SCA将所有硬件设备整合进单一软件程序中,并制作了整体解决方案,并且最终用户使用时可以将无关的设备控制程序去除。
l 非机器语言设计
l 直观的用户界面
l WYSIWYG (What You See Is What You Get) 轨迹预览
l HPGL支持 – 标准打印控制语言
l 支持 .bmp,.dxf,.stl 文件格式